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楼主: chenhongtv

[求助] MOM电容与MIM电容的区别

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发表于 2011-11-7 16:57:31 | 显示全部楼层
MIM电容不是Mn和Mn-1想程的,但是是用这两个层次做上下级版是没错的:)
MIM.JPG
发表于 2011-11-9 00:13:40 | 显示全部楼层
因为M和M-1层金属之间的氧化层较厚,所以挖槽在下面形成电容上极板,形成的电容容值更大
发表于 2011-12-29 13:28:41 | 显示全部楼层
MOM的layout画法可以在我签名的网站里搜索MOM找到
发表于 2012-3-22 09:24:06 | 显示全部楼层
LS你的个人网站还存在吗?
发表于 2012-3-27 19:38:43 | 显示全部楼层
回复 13# jeffcui18


    您好,请问这个怎么连接,需要正负极的。http://bbs.eetop.cn/thread-326070-1-1.html
发表于 2012-3-28 16:12:51 | 显示全部楼层
回复 9# ptadx


   MOM电容你想用哪几层金属你可以自己调节的,PDK里头有这个选项的。
发表于 2012-4-8 00:01:27 | 显示全部楼层




   10几倍这个说法我不赞同,一般顶铝是下层铝的几倍就不错了,主要是减小铝电阻,增大单位电流密度,MIM在xfab看过,是一层铝与一层特殊的夹层铝形成的电容。
发表于 2012-4-11 16:22:55 | 显示全部楼层
是的。mim层很薄,不在工艺描述的1p6M或者1p8M中的metal中。特别的一层。
发表于 2012-11-1 18:41:46 | 显示全部楼层
解释的不错
发表于 2013-12-17 22:31:53 | 显示全部楼层
在网上搜索到一篇帖子,讨论得很详细

[制程] MIM与 MOM
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