Sentausus 中如何联用Tsuprem4、SDE和Sdevice完成仿真？

TCAD_rookie · 发表于 2021-9-20 22:37:26

Sentausus 中如何实现联用Tsuprem4、SDE和Sdevice完成仿真？

各位半导体江湖中的TACD仿真大神，如标题所示，小弟请教一个非常严肃的问题，如何才能做到在Sentaurus中联用Tsuprem4、SDE和Sdevice来完成仿真？
首先小弟在网上看到有高手这么操作的，图片见附件（不能直接贴图）。由于种种原因无法索要到高手的代码，自己百度了很久也不搞不明白如何实现的。

搞过工艺仿真的人都知道，Tsuprem4和Medici是非常经典的二维器件仿真软件，后来被Sysnopsys公司收购了，所以在Sentaurus中是兼容Tsuprem4和Medici模块的。
当然，sentaurus本来就可以用Sprocess/SNMESH/SDE/Sdevice 等模块完成整套工艺仿真，也可以通过在swb中添加Tsuprem4、Medici来完成工艺仿真（前提是安装了这两个模块），还有就是像上面的这种联合仿真Tsuprem4+SDE+Sdevice。

为什么要想到这么折腾？因为早期习惯了Tsuprem4和Medici的仿真，在2D仿真中相对顺手一点，由于版本很旧了，曾经试图在Sentaurus中装上Tsuprem4和Medici的2013版，发现只有Tsuprem4可以运行，而Medici不行。刚好又看到有人在用Tsuprem4+SDE+Sdevice能完成仿真，所以很想学习一下，特意请教各路英雄豪杰出手相助，非常感谢！

TCAD_rookie · 发表于 2021-9-25 17:09:10

没人知道呢，太难了。

zhaoqy · 发表于 2021-10-16 10:51:30

应该是现在版本已经不支持了

zhaoqy · 发表于 2021-10-16 10:52:18

可以T4和medici一起调用

snobi · 发表于 2021-10-24 00:08:50

其实sprocess都能做T4的活，非要用古董吗~

TCAD_rookie · 发表于 2021-11-22 13:26:10

经过不懈钻研及学习，目前已搞明白了T4和sentaurus联合仿真的问题。其中SDE充当TIF与TDR文件转换的桥梁，将T4生成的TIF文件转换为sentaurus Sdevice的标准TDR文件即可完成。
其实官方的手册里面是没有涉及这些说明的，但是从官方的一些培训资料中就收录有T4是可以跟sentaurus联合仿真的。作为技术爱好者，多了解一道方法还是有好处的，包括成就感，共勉努力~

zhaoqy · 发表于 2021-11-22 14:10:24

确实是可以的

Sentausus 中如何联用Tsuprem4、SDE和Sdevice完成仿真 ？

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