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[求助] 三阱工艺

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发表于 6 天前 | 显示全部楼层 |阅读模式
50资产
在一些资料里面看到有三阱工艺,从来没接触过。想问问三阱是哪三阱?剖面图长什么样啊?

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NW,PW和DNW?
发表于 6 天前 | 显示全部楼层
NW,PW和DNW?
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 楼主| 发表于 6 天前 | 显示全部楼层


不知道,我之前没有听说过三阱
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发表于 6 天前 | 显示全部楼层
本帖最后由 washmoney2 于 2021-2-23 11:16 编辑

借助外延层吗?类似CCD垂直抗晕结构?
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发表于 6 天前 | 显示全部楼层
本帖最后由 xiaomage2h 于 2021-2-22 17:32 编辑

赞同2楼,高压工艺中会有DNW耐压。剖面图嘛,直观来说就是DNW节深比NW/PW节深要大,例如在LDNMOS中DNW需要包含PW。
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发表于 6 天前 | 显示全部楼层
就是DNW 深N阱
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发表于 5 天前 | 显示全部楼层
triple well = DNW   
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发表于 5 天前 | 显示全部楼层


xiaomage2h 发表于 2021-2-22 17:24
赞同2楼,高压工艺中会有DNW耐压。剖面图嘛,直观来说就是DNW节深比NW/PW节深要大,例如在LDNMOS中DNW需要 ...


學習了
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 楼主| 发表于 5 天前 | 显示全部楼层


xiaomage2h 发表于 2021-2-22 17:24
赞同2楼,高压工艺中会有DNW耐压。剖面图嘛,直观来说就是DNW节深比NW/PW节深要大,例如在LDNMOS中DNW需要 ...


谢谢,新的知识又增加了
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