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查看: 7981|回复: 21

[求助] Tsmc28nm工艺的金属厚度以及多晶硅厚度问题

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发表于 2020-10-21 17:09:40 | 显示全部楼层 |阅读模式

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新人,求助一下TSMC28nm工艺的金属和多晶硅的厚度问题,在PDK中没有找到,在design rule中找到了一点这方面的描述,想知道有没有前辈知道具体的?
我在design rule中发现金属厚度900A,多晶硅厚度800A,这个数值是正确的吗?

截面图

截面图

关于金属的描述

关于金属的描述

发表于 2020-10-21 23:31:01 | 显示全部楼层
设计规则基本正确吧,PDK里面有更准确的数据,你去CCI目录下面找ITF文件,里面有详细的描述
发表于 2020-11-2 13:48:22 | 显示全部楼层
只有說到金屬是900
发表于 2020-11-2 16:56:10 | 显示全部楼层
你是要干嘛呢?这个数值只是个target 值,实际中不可能这么精确
 楼主| 发表于 2020-11-6 16:06:52 | 显示全部楼层


firewolf223 发表于 2020-11-2 16:56
你是要干嘛呢?这个数值只是个target 值,实际中不可能这么精确


要做一个多晶硅光栅的仿真,需要28nm的金属剖面图和厚度等信息
发表于 2020-11-11 10:15:58 | 显示全部楼层


andyfan 发表于 2020-10-21 23:31
设计规则基本正确吧,PDK里面有更准确的数据,你去CCI目录下面找ITF文件,里面有详细的描述 ...


ITF文件里面的厚度使用二进制代码描述的,无法解析。另外请问我想知道如果要获取制程的介质厚度/方块电阻/介电常数等信息用以设计电感,这些信息从哪里获取呢 ?techfile/LPE文档中都没有?
发表于 2020-11-11 14:36:33 | 显示全部楼层
5x2y2r的含义是什么?
发表于 2020-12-19 09:18:23 | 显示全部楼层
请问一下,你的这个层厚度pdf文件是在哪找的?名字叫什么,我在28nm的spice model文档里面没看到这个.
另外,itf文件可以用peakview转换
发表于 2020-12-19 11:55:18 来自手机 | 显示全部楼层


forevertoyou 发表于 2020-11-11 14:36
5x2y2r的含义是什么?


5x2y2r表示使用了5层Mx,2层My,2层Mr外加一层M1一共10层metal
发表于 2020-12-21 09:10:39 | 显示全部楼层


Syn2012 发表于 2020-12-19 11:55
5x2y2r表示使用了5层Mx,2层My,2层Mr外加一层M1一共10层metal


Mx、 My、 Mr的区别是厚度不一样吗?
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