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[求助] Wafer 表面微量元素分析方法?

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发表于 2019-12-18 13:13:28 | 显示全部楼层 |阅读模式
50资产
除了SIMS有没有更好更精确的分析手法针对于wafer表面的微量元素(P/B)?

发表于 2019-12-18 13:53:56 | 显示全部楼层
ICP MASS
 楼主| 发表于 2019-12-23 11:17:02 | 显示全部楼层


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