关于varactor的工艺问题

浩瀚—yh · 发表于 2019-7-31 11:02:47

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

x

在阅读pdk的时候，看到RF cap对电电容的描述是MIS Varactor，mis是什么意思？

yuechuan · 发表于 2019-8-1 00:40:14

Metal-Insulator-Semiconductor

hitzhabc · 发表于 2019-8-13 17:23:43

就是用metal做gate来实现varactor？我猜的。实际上可以直接用poly做gate来实现。不知道有啥区别。另外用metal需要增加mask，是不是？

demon0821 · 发表于 2019-8-14 10:37:32

看你的工艺了，到小尺寸之后，gate很多都是metal做的了

[求助] 关于varactor的工艺问题