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[求助] smic工艺top metal疑问

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发表于 2019-7-9 14:44:38 | 显示全部楼层 |阅读模式

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假若安装的工艺为1P6M,有TM1,MTT2两层top metal,那在画版图时候在LSW窗口中选择M5或者选择TM1画出来的是不是都是TM1层?还是说两者不一样,TM1是厚一点的M5,谢谢
发表于 2019-7-9 16:46:07 | 显示全部楼层
安装目录下应该有文档会告诉你的吧,还有安装的时候应该也是让选了金属厚度的,对SMIC的工艺不熟悉,只能建议你看看文档里面怎么说
发表于 2019-7-10 17:27:45 | 显示全部楼层
不是的吧 IP6M 是最高metal层次是metal6  MT1 相当于metal7  MTT2相当于metal 8吧
发表于 2019-7-10 19:22:11 | 显示全部楼层
1p6m就是tm是m6
发表于 2019-7-10 22:38:16 | 显示全部楼层
看文档的要求,或者是规则中的说明
发表于 2019-7-11 08:09:44 | 显示全部楼层
SMIC提供的文档有说明,选择不同厚度的顶铝,用的顶铝层次不同
 楼主| 发表于 2019-7-11 14:48:21 | 显示全部楼层


石头遇见雪 发表于 2019-7-10 17:27
不是的吧 IP6M 是最高metal层次是metal6  MT1 相当于metal7  MTT2相当于metal 8吧


您跟楼下说法不一样 到底哪个对呢
 楼主| 发表于 2019-7-11 14:48:43 | 显示全部楼层


sltitan 发表于 2019-7-11 08:09
SMIC提供的文档有说明,选择不同厚度的顶铝,用的顶铝层次不同


谢谢,但是看过了,没找到
发表于 2019-7-11 15:43:16 | 显示全部楼层
比如你说的是6M的工艺,12k以下顶铝厚度的,一般用metal6,25K以上的用MTT
发表于 2019-7-11 16:12:44 | 显示全部楼层

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比如上图,1-5铝使用A1-A5,6铝使用AT,如果顶铝厚度25K以上,6铝就用TT来画。还有些工艺MIMCAP的顶铝又会用一个其他层次。具体去各厂家的工艺文件里肯定有体现的
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