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[求助] ESD版图设计问题

[求助] ESD版图设计问题

电路.png
7 天前 16:55

有一个小小的问题想请教大神们 :图中电路图是ESD保护电路图 M26 M25MOS管子源漏究竟画多粗怎么看 而且为什 ...

版图.png
7 天前 16:55

有一个小小的问题想请教大神们 :图中电路图是ESD保护电路图 M26 M25MOS管子源漏究竟画多粗怎么看而且为什么源和漏离栅极的距离不一样(感觉有一端跟栅是紧紧挨着的 另一端却不是  ,版图是我找的网上的)谢谢你们了 我真的搞不懂

源漏两极到栅极的space,在设计ESD MOS管 rule有要求的,你可以看一下你们的rule。好像是加一层SAB这个物质,增加抗压性。过完年回来喝酒喝忘了,你可以看一下有个叫柯明道的教授有关ESD的解答

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回复 2# ZGP123456


   谢谢你啊!!

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SAB利用增加漏极宽度产生隔离电阻,提高PAD电位促进ESD保护器件开启

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SAB利用增加漏极宽度产生隔离电阻,提高PAD电位促进ESD保护器件开启

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对于上面的问题,一般来说漏端需要画大面积一点,同时,漏端接触孔到栅距离(DCGS)大于源端接触孔到栅距离(SCGS),如果DCGS过小,很可能发生瞬态的ESD冲击耦合到栅上,会将栅氧化层击穿;对此通常会留有一定的DCGS的空间,并且增加SAB工艺将覆盖在漏极接触孔与栅之间的金属硅化物去除,防止栅漏直接串通的发生。而大面积的漏端可以确保大电流流入泄放,起到保护作用。你问到的画多粗,就需要查一下rule。
要从根源上明白ESD保护结构设计准则和原理,论坛上有相应的资料,可以查一下。涉及到的面还是比较广的。

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回复 6# 我要改名字啦啦


   非常谢谢你!这两天我看了你说的文件大概都懂了

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