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[求助] Metal dummy

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发表于 2018-9-12 17:47:56 | 显示全部楼层 |阅读模式

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请教各位大侠 ,在APR阶段 加入dummy metal的作用都有哪些
发表于 2018-9-13 09:37:45 | 显示全部楼层
APR阶段  满足density check吧   还可以减小SI的影响
如果不对请指正 thx
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发表于 2018-9-17 09:43:38 | 显示全部楼层
学习一下。、
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发表于 2018-9-17 14:08:05 | 显示全部楼层
满足metal的密度要求,工艺光刻对密度有要求,过高和过低都不行
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发表于 2018-9-19 17:10:52 | 显示全部楼层
DRC要求,以及方便工艺刻蚀
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