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[求助] Metal dummy

[求助] Metal dummy

请教各位大侠 ,在APR阶段 加入dummy metal的作用都有哪些

APR阶段  满足density check吧   还可以减小SI的影响
如果不对请指正 thx

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学习一下。、

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满足metal的密度要求,工艺光刻对密度有要求,过高和过低都不行

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DRC要求,以及方便工艺刻蚀

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