MEMS芯片代工

jiaojiesea · 发表于 2018-7-6 09:49:09

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浙江芯动科技有限公司位于浙江省嘉兴市，是一家专注高端MEMS代工的生产加工企业。公司拥有先进的6英寸MEMS芯片产业化生产线，工艺能力涵盖MEMS芯片生产全过程。
公司技术团队中有多名具有丰富欧美MEMS制造加工经验的技术专家，其中2名为国家特聘专家（国千），技术力量在行业中已处领先位置。
芯动拥有700平米超净室，其中光刻区、键合区共150平米，净化等级为十级，刻蚀区、扩散区、薄膜区共450平米，净化等级为百级，是目前国内少数百级、十级洁净室，在高端MEMS传感器制造厂房中属先进水平，拥有完整的MEMS工艺设计、加工平台，可为国内外同行提供微纳器件研发、工艺代工、工艺测试等技术服务。

公司以6英寸体硅工艺为主，可实现多种工艺的加工服务：

光刻：接近式光刻（可双面）和步进光刻，最小线宽1um

薄膜制备：氧化、LPCVD、TEOS、PECVD

金属制备：E-beam、磁控溅射

湿法腐蚀：KOH、 BOE/HF等

干法刻蚀：RIE、DRIE（深宽比达到40）

键合：硅硅、硅-玻璃、金属共晶、金属热压等多种键合

压电材料制备：AlN

结构释放：气态HF刻蚀、XeF2刻蚀

减薄：机械减薄、CMP

网站参考：www.mfab.cn 联系电话：13957371015，金

lianaissmec · 发表于 2018-7-24 16:37:58

请问一下，生产一批加速度传感器的周期多久，费用多少？

maxy7402 · 发表于 2018-11-18 21:09:20

感謝大大分享

bensonlol · 发表于 2018-12-3 22:37:02

推推推推推推推

bensonlol · 发表于 2018-12-3 22:37:46

禿推推推推推推推推推

pzq199 · 发表于 2019-1-19 13:22:57

有QMEMS代工经验吗

吉林12530109 · 发表于 2019-2-23 15:56:47

niu,发展不错，请问目前做到的工艺？

linpogin · 发表于 2019-5-23 23:09:13

感謝大大分享

[原创] MEMS芯片代工

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