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[求助] TCAD工艺仿真问题

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发表于 2018-5-28 15:12:22 | 显示全部楼层 |阅读模式

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在用TCAD进行工艺仿真时,关于各种模型(比如扩散模型、离子注入模型、刻蚀模型、氧化模型等)的介绍有没有中文资料?或者是有没有对这些模型介绍德比较详细的书籍?因为英文的资料看起来实在很费劲,由于刚开始学习TCAD,求指导
发表于 2018-6-12 11:10:23 | 显示全部楼层
自己看Mauual
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发表于 2018-6-21 10:06:41 | 显示全部楼层
关于TCAD工具的书籍有几本,可以网上搜一下,不同公司的TCAD的使用都有讲解,不算详细,但是可以入门,具体做还要自己摸索,浙大出版的还并不错,关于ESD的
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发表于 2019-8-7 12:36:24 | 显示全部楼层
一般都是英文的,中文只是简单的介绍。如果想把仿真做好,英文是必须的
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发表于 2020-1-10 14:55:11 | 显示全部楼层
厉害
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发表于 2020-3-30 10:36:23 | 显示全部楼层
这玩意必须得看manual才行,书籍的话,也要看英文的,中文的有很多翻译的很不到位的,看着比看英文的都费劲
可以看看wolf的Silicon Processing for the VLSI Era,半导体圣经这是,理论部分看III这个就好。
还有Silicon VLSI Technology Fundamentals,Practice and Modeling里的6、7、8章,也是讲理论的,都还不错
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