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[求助] silvaco求助

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求助!
用silvaco仿真PN结的工艺过程的时候出现了问题,结构在tonyplot里面看上去是对的,但是结构文件没办法导出,提示Export failed:cannot export this plot type    请问有人知道这是怎么回事吗?
  1. go athena


  2. line x loc=-2 spac=0.05
  3. line x loc=0 spac=0.05
  4. line x loc=2 spac=0.05
  5. line y loc=0 spac=0.05
  6. line y loc=2 spac=0.2
  7. init silicon phosphor resistivity=0.04 orientation=100  

  8. #deposit oxide淀积二氧化硅层
  9. deposit oxide thick=0.3 div=10
  10. structure outfile=preoptolith.str
  11. tonyplot preoptolith.str


  12. #etch 刻蚀中间二氧化硅,便于扩散
  13. etch oxide start x=-0.6 y=-.3
  14. etch continue    x=-0.6 y=0.0
  15. etch continue    x=0.6  y=0.0
  16. etch done        x=0.6  y=-0.3
  17. structure outfile=etch_1.str
  18. tonyplot etch_1.str

  19. #diffuse 扩散硼
  20. diffuse time=2 hours temp=1000 c.boron=1e19
  21. structure outfile=diffuse.str
  22. tonyplot diffuse.str

  23. #etch  刻蚀两边的二氧化硅便于做电极
  24. etch oxide start x=-1.5 y=-0.3
  25. etch continue    x=-1.5 y=0.0
  26. etch continue    x=-1.0 y=0.0
  27. etch done        x=-1.0 y=-0.3
  28. etch oxide start x=1.0  y=-0.3
  29. etch continue    x=1.0  y=0.0
  30. etch continue    x=1.5  y=0.0
  31. etch done        x=1.5  y=-0.3
  32. structure outfile=etch_2.str
  33. tonyplot etch_2.str

  34. #淀积铝
  35. deposit alumin thick=0.3 divi=10
  36. structure outfile=deposit_2.str
  37. tonyplot deposit_2.str

  38. #etch alumin 刻蚀多余的铝
  39. etch alumin start x=-2   y=-0.6
  40. etch continue     x=-2   y=-0.3
  41. etch continue     x=2    y=-0.3
  42. etch done         x=2    y=-0.6

  43. etch alumin start x=-0.6   y=-0.3
  44. etch continue     x=-0.6   y=0
  45. etch continue     x=-0.2    y=0
  46. etch done         x=-0.2    y=-0.3
  47. etch alumin start x=0.2   y=-0.3
  48. etch continue     x=0.2   y=0
  49. etch continue     x=0.6    y=0
  50. etch done         x=0.6    y=-0.3
  51. structure outfile=etch_3.str
  52. tonyplot etch_3.str

  53. electrode name=cathode x=-1.2 y=-0.3
  54. electrode name=anode x=0 y=-0.3
  55. electrode name=cathode x=1.2 y=-0.3
  56. structure outfile=pn.str
  57. tonyplot pn.str

  58. #extract name="iv" curve(v."anode",i."anode")


  59. quit
复制代码

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