创新方法——样品展示，同时拍面内和离面运动，效果很好，不用激光多普勒测振仪

lynceetec

讲下原理：
数字全息法：记录全息图时记录下了图上每个像素点的三维信息，因此能够实现对每个像素点的三维同步实时跟踪，在测量微系统与微机电系统MEMS的多维振动应用上体现了独一无二的优势。

对于离面（Out-of-plane）运动的测量达到了MEMS激光测振仪（也被称为MEMS分析仪）的精度，而对于面内（In-plane）运动的测量精度则远远超过目前市场上其他MEMS分析仪的测量精度，达到了1纳米。还可频闪模式下还能记录在高频谐振下MEMS的不同模态，如图
所展示的MEMS悬臂梁不同频率下的谐振模态。

样品依次展示了：超声传感器、MEMS微镜、MEMS悬臂梁、MEMS麦克风、惯性传感器、光学膜片钳、MEMS微执行器、微热板、24.7MHz表面声波

MEMS悬臂梁