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[求助] 为了更好地理解PDV(DRC,ect.)的问题,哪一本工艺方面的书籍比较方便参考?

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数字后端的DRC 问题涉及到集成电路的工艺,为了更好地理解DRC,请问相关高手推荐一本有关工艺方面的书籍或资料,感之不尽!

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