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[求助] Sentaurus仿真表面缺陷,怎么定义“表面”?

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发表于 2017-3-10 12:08:13 | 显示全部楼层 |阅读模式

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仿真表面缺陷的时候,不知道怎么定义一个区域的表面,因为表面和界面不同,界面是两块区域相接触形成界面,而表面是表面一薄层,表面缺陷的单位又是/cm2,所以又不能定义为一个体区,而表面缺陷在体区和表面是有很大差别的,不知道有没有大神懂这方面的,还请赐教!
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