高纯度溅射靶材

semico_ljj · 发表于 2016-11-27 21:34:51

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位于浙江宁波余姚县的江丰电子材料股份有限公司，董事长姚力军告诉媒体、告诉全球，iPhone 7核心处理器A10芯片采用了江丰电子产品，是中国电子产品第一次应用在16nm FinFET+技术大规模集群。

芯片到底是从何而来呢？这个类似饼状的金属材料，叫高纯度溅射靶材，它是半导体芯片制造中的关键材料。目前全球只有三个国家四家公司掌握这种材料的制造工艺。

这些金属靶材，最核心的是它的纯度。一般的金属能达到99.8的纯度，而制作芯片需要的金属纯度是99.999。因为纯度太高，指甲轻轻一划就会有划痕，任何细微的瑕疵都会导致这一块价值上万美元的靶材报废。

目前，姚力军他们生产的高纯钛金属，已经达到美国、日本的产品性能，完全满足了芯片制造所需要的纯度，再也不受制于人，打破了日美在这一战略金属材料领域的垄断。

作为全球范围内掌握高纯金属及溅射靶材关键技术的核心专家之一，11年前，已经在日本工作的姚力军带着技术回到国内。姚力军回忆道，当初向美国的霍尼韦尔和日本大阪太业申请购买超高纯钛，结果都被拒绝了，于是决定自己制造。

2005年10月，江丰电子实现了第一块中国制造靶材研发成功，每天500公斤的产量看上去并不算多，但是我国在这一领域的产品几乎为0，填补了中国溅射靶材工艺的空白。当时，中国不仅溅射靶材工艺是空白，就连生产靶材的高纯金属原材料也要全部依赖进口。

“从工艺制造到关键的大设备都是我们自行设计的，在中国找不到第二家能够做这样的产品。”姚力军介绍道，从设计到制造，江丰电子拥有自己知识产权的，这家工厂整个投资6亿元，如果采用全进口，不用说人家卖不卖，即使能买来全部造价也要高达20亿元，核心装备受制于人，产品竞争力无从谈起。

芯片是未来智能装备控制系统的核心，没有姚力军他们生产的这种靶材，芯片就造不出来。金属靶材的金属原子被一层层建设到芯片上，再利用特殊的工艺把它们切割成金属导线，芯片的信息传输全靠这些金属导线。如今的市面上的很多手机、平板电脑都采用了江丰电子的产品。

宁波江丰电子有限公司

2005年成立的宁波江丰电子有限公司就是一家从事研发生产溅射靶材的高科技企业，也是国内唯一从事集成电路芯片制造用超高纯度溅射靶材研发的企业，生产的半导体溅射靶材产品，已成功替代进口产品，并进入台积电、东芝、索尼、富士通等国际主流半导体制造企业。

江丰电子已能够生产超高纯铜、铝、钽、钛等材质的各类靶材产品，并已应用到线宽65纳米至180纳米的当前最先进的半导体制造领域。

溅射靶材是制造半导体芯片所必需的一种极其重要的关键材料，其原理是采用物理气相沉积技术（PVD），用高压加速气态离子轰击靶材，使靶材的原子被溅射出，以薄膜的形式沉积到硅片上，最终形成半导体芯片中复杂的配线结构。溅射靶材以超高纯金属（铝、钛、铜、钽等）为原料，具有金属镀膜的均匀性、可控性等诸多优势，被广泛应用于半导体领域。

宁波江丰电子靶材产品已在全世界主要半导体企业实现批量销售，台湾地区的TSMC、UMC等；中国大陆包括中芯国际、台积电（上海）、华虹NEC等；GF新加坡、IBM、Freescale、美光科技等；日本的NEC、富士电机、东芝、索尼、日立、松下等都已是江丰的客户；来自韩国的用户有三星、海士力、东部等；欧洲则有英飞凌、意法半导体等。