NM-XY-100X纳米定位可以集成电容传感器微动平台吗？

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NM-XY-100X纳米定位可以集成电容传感器微动平台吗？

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NM-XY-100X是一个集成了电容传感器的微动平台。由Super Invar（特殊钢材）制成，高于纳米级分辨率和重复性。  
   
概述
   
NM-XY-100X是一个集成了电容传感器的微动平台。高于纳米级的分辨率与重复性对弯曲机械装置的有限分析可以在100微米的范围内降低伴生角度的移动到25微弧度以内是一个集成了电容传感器的微动平台。有高于纳米级的分辨率和重复性。
特殊钢材的外壳(CTE  0.3ppm K-1, c.f. Al at 23ppm K-1)可以将温漂降低到最小，在纳米级是非常重要的。这种外壳拥有优秀的力学平衡设计。