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EETOP 创芯网论坛 (原名：电子顶级开发网)»论坛 › IC 设计及制造（半导体、微电子） › Analog/RF IC 设计 › Analog/RF IC 设计讨论 › CSMC 0.5um FE 0.35um BE MM,这是种什么工艺？
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查看: 4725|回复: 8

[原创] CSMC 0.5um FE 0.35um BE MM,这是种什么工艺？

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tiancai3385
发表于 2015-11-10 14:14:57 | 显示全部楼层 |阅读模式

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CSMC 0.5um FE 0.35um BE MM,这是种什么工艺？最近从MPW代理那里拿了这个工艺，说什么前段是0.5um，后段是0.35um，这是什么意思啊？有木有大神知道啊？

本想用0.5um的mixed signal，2016年华润上华好像没有0.5um的混合信号工艺MPW服务啦！
不过可以做复合板，full mask, 这种流片方式，有大神知道是怎么回事吗？
复合板, 华润

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feel100
发表于 2015-11-10 15:48:50 | 显示全部楼层
非常成熟的工艺，0.5u的前端是指mos器件还是.5u的。后端孔和金属是0.35u的。复合板就是把4层光刻做在一块版上，可以节约光刻板的钱。还可以量量产。
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tiancai3385
 楼主| 发表于 2015-11-10 15:51:57 | 显示全部楼层
回复 2# feel100


    嗯，是这样子。我刚才问了MPW代理公司
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tiancai3385
 楼主| 发表于 2015-11-10 15:52:35 | 显示全部楼层
回复 2# feel100


    你做复合板的流片方式吗？
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feel100
发表于 2015-11-10 15:56:33 | 显示全部楼层
回复 4# tiancai3385


    以前经常做。
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tiancai3385
 楼主| 发表于 2015-11-10 16:11:39 | 显示全部楼层
回复 5# feel100


    这种流片方式，费用怎么计算？流一次大约多小钱？
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feel100
发表于 2015-11-10 16:38:25 | 显示全部楼层
光罩要4到5块，还需要12片wafer。7到8万左右吧。
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tiancai3385
 楼主| 发表于 2015-11-10 16:42:19 | 显示全部楼层
回复 7# feel100


   这样啊，谢谢您的信息哈。
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tiancai3385
 楼主| 发表于 2016-2-22 10:36:12 | 显示全部楼层
回复 7# feel100


    请问这是美金？换是人民币7-8万啊？
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