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EETOP 创芯网论坛 (原名：电子顶级开发网)»论坛 › IC 设计及制造（半导体、微电子） › MEMS(微机电系统) › MEMS讨论区 › what is CMOS MEM ??
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楼主: andy2000a

[讨论] what is CMOS MEM ??

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Rucas
发表于 2019-6-21 10:36:08 | 显示全部楼层

thanks foe sharing
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xlteam2
发表于 2022-7-15 08:27:37 | 显示全部楼层
VERY GOOD
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shg841100
发表于 2024-1-16 11:44:00 | 显示全部楼层
学习了
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hjc19951212
发表于 2024-3-2 14:22:13 | 显示全部楼层
使用CMOS工艺先加工，提前把MEMS部分的图案也绘制出来，然后拿回晶圆做后处理，这个要么大公司fab配合你，要是个人研究者，自己拿回实验室用设备自己做后道工艺处理，我这边的老师是这么做的。
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