MEMS Materials and Processes Handbook

hlren1982 · 发表于 2015-6-10 14:43:12

感谢分享！！！！

candidater · 发表于 2015-6-15 23:09:40

苏州创芯科技有限公司，专注MEMS工艺代工和设计服务。提供2-4-6英寸 MEMS晶圆加工以及单步工艺加工服务：
包括光刻工艺、PECVD薄膜工艺；
干法刻蚀工艺，包括深硅刻蚀、金属刻蚀、氧化硅/氮化硅刻蚀、干法去胶)；
湿法刻蚀工艺，包括金属/氧化硅/氮化硅刻蚀；
磁控溅射金属化工艺、电子束蒸发金属化工艺、电镀工艺、特殊薄膜工艺等；
硅基氧化硅和氮化硅膜厚量测，金属薄膜退火，晶圆电阻和方块电阻量测；
晶圆减薄和抛光；
同时能够为企业和科研客户提供电容传感器和硅基压阻压力传感器的完整晶圆加工方案，同时按照客户要求，协助加工晶圆级样品。
依托于中科院苏州纳米所微纳加工平台先进的工艺设备，团队成员拥有丰富的MEMS加工和设计经验，确保了高品质的加工工艺。随着以智能手机、可穿戴设备为代表的消费电子市场的迅猛发展，对传感器的微型化、集成化、智能化需求越来越强烈，这使得以 MEMS 技术为核心竞争力的企业迎来了前所未有的发展机遇。秉承“服务客户”的理念，本公司致力于协助客户开发基于MEMS技术的传感器芯片工艺和设计。

联系方式：
电话：15618773983
联系人：郭先生
邮箱：inno-silicon@qq.com