TSMC_N65_SP8M5x2z中的5x2z的具体含义？

wjchuan · 发表于 2012-7-20 15:46:22

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听人指导的：5x2z是指5层薄金属，2层厚金属。

这些参数是哪给出的定义呢？听说还是y?还有其他的么？有没有详细说明这些参数含义的文档？

是看tf文件的unitmaxThickness参数？

其中x,z所指的是一个范围，还是有最大的thickness上限？

yiyeyo · 发表于 2012-7-21 19:24:43

5x是指metal1以上的中间这5层的金属厚度，2Z是2层z厚度的厚金属，最高层的厚度跟封装有关，个人认为xyz 是一个范围，对某种固定工艺来说是固定的值

wjchuan · 发表于 2012-7-22 22:57:58

回复 2# yiyeyo

明白，那y指什么？还有其他的参数吗？

jjchen · 发表于 2013-12-17 00:43:58

X:1X rule(100nm)
Y:2X rule(200nm)

bing_bing · 发表于 2020-7-10 10:05:14

TSMC_N65_SP8M5x2z 首先 8M 是8层金属 5x 是使用5层x 类型的金属做连线（不同类型的金属，过电流能力等不一样）+2z 是说顶层和次顶层使用z型金属做走线+默认的M1 这样子一共是8层 sp 应该是single poly的意思，单层poly 就是1P8M的意思

cubecode · 发表于 2021-12-13 20:19:38

可以参考下图

ictrh · 发表于 2022-4-12 14:12:22

想问一下tsmcN65工艺的说明文档放在哪

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