现在8inch的主流工艺不需要外延层（epi）吗？

tortose · 发表于 2012-1-4 22:38:08

我也不知道啊。

laughing125 · 发表于 2020-9-9 14:45:54

chendiyi 发表于 2012-1-1 12:56
epi纯度高，用CZ法拉出的Wafer纯度不高，参杂也不会非常均匀。一开始使用epi主要是用于提高Bipolar集电极的 ...

请问您知道一般0.18um 的BCD工艺EPI一般做多深吗？有几微米呢？

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