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[原创] MEMS气体流量传感器可以用在什么地方?

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发表于 2011-3-8 12:10:19 | 显示全部楼层 |阅读模式

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欧姆龙MEMS气体流量传感器种类丰富,实现超微流量的高精度检测。


有如下特性:

*微小流量的高精度/快速应答检测

*通过MEMS技术实现无需选择安装位置的超小型化

*多种类产品能适应微小流量至中等流量

用途如下:

1、气体流量的检测

l
燃气装置的空气比管理

l
气体能量管理

2、控制流量的监测

l
通气管道的流量监视

l
净化车间

3、过程控制

l
半导体制造装置/分析器

l
流量计测·控制




                               
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