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MEMS工艺技术

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发表于 2009-5-3 00:02:28 | 显示全部楼层 |阅读模式

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[size=200%]Ø微机电系统(MEMS)是指用微机械加工技术制作的包括微传感器、微致动器、微能源等微机械基本部分以及高性能的电子集成线路组成的微机电器件与装置。
[size=178%]ØMEMS的基本概念及其特点
[size=178%]Ø
MEMS的发展概况
[size=178%]ØMEMS的应用领域
[size=178%]ØMEMS工艺的基本概念
[size=178%]ØMEMS工艺的国内外情况及发展趋势





MEMS工艺(1).rar (4.54 MB, 下载次数: 120 )
发表于 2009-12-16 16:37:27 | 显示全部楼层
mems pro V6.0??
发表于 2009-12-23 20:44:16 | 显示全部楼层
1# szkevin
发表于 2009-12-23 21:21:01 | 显示全部楼层
看看,多谢共享
发表于 2009-12-24 08:45:07 | 显示全部楼层
先谢啦
发表于 2010-6-28 09:58:24 | 显示全部楼层
技鼎机电
发表于 2010-8-30 20:31:48 | 显示全部楼层
thank u
发表于 2010-8-30 23:16:39 | 显示全部楼层
下一个热点呀!
发表于 2010-8-31 13:01:56 | 显示全部楼层
谢谢分享
发表于 2010-10-1 00:08:12 | 显示全部楼层
THANK YOU
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