What is salicide?

oldjack · 发表于 2008-10-1 14:18:32

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What is salicide? what is the difference between salicide and silicide?

cport · 发表于 2008-10-1 18:05:54

有上下文提供吗？

malinzju · 发表于 2008-10-2 03:36:52

what's the context?

wzj10012868 · 发表于 2008-10-2 16:16:10

salicide是自对准多晶硅化合物

taoly_ic · 发表于 2008-10-2 18:09:06

我也想知道.

suyfxidian · 发表于 2008-10-3 14:52:34

我也想知道，哪位高人指点一下啊？

nowich · 发表于 2009-10-11 14:20:33

poly用P＋掺杂，同时Salicide 来降低poly的电阻！Salicide 后poly的值由几十欧降到几欧/方块
一般.35以下在做完p+ n+注入后都会再做一个sab层，就是为了降低poly及S D区的电阻

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