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查看: 2542|回复: 4

[求助] 【求助】bcd工艺为什么poly1没有高阻电阻

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发表于 2018-4-13 16:47:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
200资产
目前两个工艺库里面poly1都没有高阻值的电阻,请教下是工艺的问题,还是bcd工艺poly1做高阻值有难度?以前见过有用poly1加sab层做高阻电阻的。求大神解答。

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poly1因为是栅极要用到,所以淀积的同时做掺杂,形成低阻通路,相对而言再选一层poly2专门用来做电阻,比把低阻poly1通过注入变成高阻更容易控制。
发表于 2018-4-13 16:47:01 | 显示全部楼层
poly1因为是栅极要用到,所以淀积的同时做掺杂,形成低阻通路,相对而言再选一层poly2专门用来做电阻,比把低阻poly1通过注入变成高阻更容易控制。
发表于 2018-4-13 22:30:06 | 显示全部楼层
HR resistor是要单独一层MASK实现的。与是否BCD工艺没有关系,只要mixed的支持BCD都会支持的。RPPOLYU/RNPOLYU也用的非常多。
发表于 2018-4-15 10:19:50 | 显示全部楼层
每个工艺都不一样撒
发表于 2018-4-15 11:44:38 | 显示全部楼层
这个和你用的工艺有关吧?我们的BCD工艺就要有HR poly 电阻。
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