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查看: 1945|回复: 4

[求助] MIM电容800多fF,,画了一个环形MIM电容,请大神帮忙评估风险

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发表于 2018-4-4 19:37:46 | 显示全部楼层 |阅读模式

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MIM电容800多fF,用的是6层METAL,鉴于工艺限制,MIM只能做在5,6层。
如图,由于正中间要做10*10的PAD,只能画了一个环形电容,不知道环形电容的精度如何,风险大吗?
请大神指点
 楼主| 发表于 2018-4-4 19:41:28 | 显示全部楼层
IMG_20180404_173842.jpg
环形电容图
发表于 2018-4-6 13:07:00 | 显示全部楼层
很重要的电路应用么?
 楼主| 发表于 2018-4-6 13:43:01 | 显示全部楼层
回复 3# maomao198477
挺重要的,一个采样电容
发表于 2018-4-9 17:25:07 | 显示全部楼层
太大面积的mim电容不好吧,最好分成若干个小的,然后并联起来
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