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[求助] smic eeprom 的工艺层次含义求指导

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发表于 2016-4-21 11:43:49 | 显示全部楼层 |阅读模式

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小弟刚入手smic018 eeprom的工艺。其中TOW 和ONO两层次,不知道其作用。求高手指导。如果有剖面图说明层次结构,那就再好不过了。谢谢!
发表于 2016-10-24 11:19:03 | 显示全部楼层
ONO (OXIDE NITRIDE OXIDE)氧化层-氮化层-氧化层 半导体组件,常以ONO三层结构做为介电质
发表于 2016-10-24 14:42:28 | 显示全部楼层
TOW   Define Tunnel Oxide Window Open
发表于 2016-10-24 21:12:57 | 显示全部楼层
不看工艺文件啊
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