工艺制作中掩膜版问题

sunny_yangfeng · 发表于 2015-9-21 15:35:07

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在版图中画了15层mask版，而在制作的时候为什么会只需要制作14层mask版，请问这是什么原因？从工艺文件中哪里可以看得出哪些mask版需要制作出来的？望回复

fuyibin · 发表于 2015-9-21 16:06:40

layout里面画的不是mask， mask是通过layout上层次，经过mask tooling 公式运算出来的
foundry会提供这方面的资料

Rucas · 发表于 2015-9-21 16:11:45

你确定你的版图上是15层Mask？

sunny_yangfeng · 发表于 2015-9-22 10:21:43

回复 2# fuyibin

那请问mask tooling公式是什么样子的？可否发给我看一下？会在design rule文件里有吗？谢谢

lianaissmec · 发表于 2015-9-22 17:23:11

mask tooling 可以问foundary 要

sunny_yangfeng · 发表于 2015-9-23 11:12:12

回复 5# lianaissmec

mask tooling或者design rule文件中的不需要制作掩膜版的mask层次是做了什么样的标记？

fuyibin · 发表于 2015-9-23 14:14:50

回复 lianaissmec

mask tooling或者design rule文件中的不需要制作掩膜版的mask层次是做了什么样的 ...
sunny_yangfeng 发表于 2015-9-23 11:12

登录/注册后可看大图

小伙，不要再纠结mask这个问题啦，mask又不影响你画layout，不知道你想要干什么
mask大部分都是通过layout层次运算出来的，而且也不是你画出来的尺寸，
如果你仅仅是画layout，那mask就不是你操心的事
这是foundry干的事情，看看tsmc65nm的mask，是很复杂的，但是不影响你画layout

icfbicfb · 发表于 2015-9-23 17:39:50

解释的很清楚，赞一个

alice_xyf · 发表于 2015-10-27 15:57:36

7楼正解

changyidtk · 发表于 2018-1-23 03:25:09

学习了

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