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[活动] 纳米传感器与微米传感器哪个精度高呀?

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发表于 2015-4-15 22:15:18 | 显示全部楼层 |阅读模式

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纳米传感器与微米传感器哪个精度高呀?
发表于 2015-5-6 21:53:17 | 显示全部楼层
每通道两个精确匹配的传感器使分辨率达到1nm;
     
    超耐热,长时间稳定:1.27x10-4mm/月或更好;
     
    有耐低温传感器;
     
    非常高的灵敏度,最高到394 mV/μm;
     
    低功耗:小于2W(±15 Vdc典型情况下);
     
    纳米级位移传感器应用领域
     
     
    纳米级位移传感器差动测量:
     
    两个精确匹配的传感器被放置在被测物平台两侧,这两个传感器组成了平衡桥电路相反的两端,这个结构提供了极好的线性和热稳定性,所以其输出准确地记录了线性的最微小移动。如激光反射镜聚焦平台定位。
     
    低温应用:
     
    20N传感器有一个专门的低温应用版本,它有一个内部伸缩接头,当用螺丝安装一个贝勒维尔垫圈后,可有效消除压力或温度引起的机械变性。已证明其在70°K的液态氮中有最优异的性能。好几个空间项目在4°K的液态氦环境中使用了此传感器。
     
     
     
    纳米级位移传感器真空应用:
     
    传感器和KD-5100的电子器件都已用在10-6托的真空应用中了。
     
    超高精度宇航应用:
     
    已制造出MIL-H-38534。所有电子器件均采用符合MIL-SPEC标准的。KD-5100在战斗环境下超过55,000小时,太空飞行环境下超过238,000小时。
     
    小尺寸 (只有 2 x 2.12 x 0.75英寸) ,可应用于空间狭小的场合。
     
     
     
    纳米级位移传感器商业差动:
     
    KDM-8200微分系统就是KD-5100的一个商业版本。此系统大大减小了微分系统的成本,又保持了性能优势。在重量、大小和能耗没有特殊限定的情况下,这些差动系统是首选。
     
    中继镜片激光定位(RME):
     
    RME演示了一束从地球发射到450公里轨道上人造**的激光可以被精确地反射到直径3米的目标地面。
     
    KD5100被用于精确定位60cm的中继镜片,其精度高于试验目标的16倍,视线稳定度高2.3倍。
     
    半导体圆晶片制造中的超高精确激光聚焦:
     
    激光微注技术被用于开发半导体圆晶片制造中的“直接写入”应用和高吞吐量模板图案应用,而且还被融合进0.1微米工艺的产品中。KD5100就被应用到此技术中,精确控制激光的位置,完成超高精确位置、关键尺寸和对齐控制。
     
    纳米级位移传感器其它应用:精确望远镜定位、磁悬浮轴定位。
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