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[求助] 请问有哪些比较强大的MEMS工艺仿真软件?

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发表于 2015-3-26 08:42:04 | 显示全部楼层 |阅读模式

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RT,请问目前比较实用而且强大的MEMS“工艺”仿真软件有什么,知道的帮忙推荐下,谢谢!
发表于 2015-3-27 02:57:43 | 显示全部楼层
COMSOL? 有这个模块但是买授权花钱不少
发表于 2015-5-2 18:03:11 | 显示全部楼层
工艺仿真软件的话,考虑下coventor公司的3Dsemulator,不过没有用过,只看了介绍。
coventorware马马虎虎过得去,不算很好,聊胜于无。
发表于 2017-7-5 20:38:42 | 显示全部楼层
请给我一个 CoventorWare_2012.000的 license 行吗?390504401@qq.com
发表于 2017-8-18 12:53:19 | 显示全部楼层
默默地看一看。。。。。
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