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[资料] surface processes in MEMS technology

[资料] surface processes in MEMS technology

综述,详细介绍了表面微机械工艺中的一个重要问题,粘连。

Maboudian_surface_processes[1].pdf (4.41 MB)

是1997年的东西

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好老的东西!!!

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surface processes in MEMS technology

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回复 4# ralphtw


    谢谢啊暗暗啊啊暗暗

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表面粘结联合问题

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谢谢楼主

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x谢谢了

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