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[其它] 为什么在工艺文件描述中比如4M_1x1y1z这种没有M1的层次,x就是从M2开始的???

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发表于 2019-2-11 19:19:50 | 显示全部楼层 |阅读模式

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为什么在工艺文件描述中比如4M_1x1y1z这种没有M1的层次,x就是从M2开始的???就是1x是M2,1y是M3,1z是M4。那M1为什么不写出来的啊。
发表于 2019-2-13 09:48:46 | 显示全部楼层
回复 1# 你是小纯洁

我没见过4M_1x1y1z,但是应该和其他标记的道理是相通的,目的是让我们了解金属组合情况:

1,我们关注金属的总层数和顶层金属厚度;所以代号中需要体现出这两个信息,比如1P4M,3M1T(总共3层金属,顶层使用thick metal)。
2,你这x, y, z有什么特殊之处么?如果没有的话,这么“1x1y1z”列出来有点多此一举哎。
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发表于 2019-2-13 15:03:21 | 显示全部楼层
习惯而已,你说的是T的习惯。换另外一个FAB就是另外一种习惯了
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发表于 2019-2-13 21:58:59 | 显示全部楼层
是的!你的認知是正確的
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发表于 2019-2-14 16:56:54 | 显示全部楼层
楼主应该是理解错了,x,y,z分别代表不同参杂的金属而已。不是说1x就是M2,1y就是M3,1z就是M4。正确的理解,比如7M_5x_2z。 5x就是代表M1_M5,2z 代表M6_M7。 有些工艺厂会把M1当成不可选的金属,所以在定义的时候就把M1给取消了,比如T家的就是7M_4X_2Z...
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